高真空用フッ素グリース

FLOIL TKUシリーズ

半導體製造裝置用フッ素グリース

FLOIL TKUシリーズは、環境対応型のフッ素グリースです。高真空環境下や溫度の変化によるオイルの蒸発や粘度の変化が極めて少なく、半導體製造裝置?真空裝置?真空ポンプ?軸受け摺動部やオイルシールなどの各種シール部に最適なハイスペックグリースです。

「FLOIL TKUシリーズ」の特徴

従來のフッ素グリースよりも、より高性能に

?REACH規則 Annex XVIIに対応
?蒸気圧が低く、高真空下でもオイルの蒸発が極めて少ない
?酸化安定性?耐薬品性に優れる
?ゴム、プラスチックに悪影響を與えない
?1kg容器、50gチューブの2種類の荷姿に対応

用途別製品マトリクス

  1. 課題
  2. 代表品番
  3. 用途
-40℃以下の低溫環境でも使用したい
代表品番 : TKU-056
用途 : 半導體製造裝置內各種摺動部
高真空環境下で使用する為オイルの蒸発を抑えたい
代表品番 : TKU-002
用途 : 半導體製造裝置內各種摺動部

お客様のニーズにあった製品に、カスタマイズすることができます。

「高真空用フッ素グリース TKUシリーズ」の製品?購入?SDSに関するお問い合わせは、下記よりお問い合わせください。
また、導入実績も掲載しておりますので、そちらもご參考にしてください。

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